所有人都抬起头,放下了手里的笔,看着刘星海教授,等着宣读第三期任务清单。
“前两期,是理论组坐在办公室里编的。哪些技术是短板、哪些材料卡脖子、哪些设备造不出来,理论组调研、分析、论证,然后列成清单,给大家去攻关。这个模式,在‘技术补课’阶段是对的。因为我们不知道差距在哪里,需要有人先看清楚,再把任务分下去。”
他顿了顿。
“但现在,不一样了。5微米工艺我们跑通了,2微米工艺我们跑通了。昆仑1机每秒4。5亿次,世界领先。我们有底气说,在集成电路和计算机这个领域,我们不再是‘跟跑’了,我们是‘并跑’,在某些方向上,甚至是‘领跑’。”
他的声音拔高了一些。
“领跑的人,不能等着别人告诉你往哪跑。领跑的人,要自己看路。”
他从桌上拿起一份文件,翻开,念了一段。
“第三期技术攻关,不设方向,不设范围。理论、材料、工艺、设备、设计、封测……不限方向,不限规模。各成员单位自行拟定课题,报星河计划指挥部备案。”
他合上文件,看着台下。
“唯一的条件是,每个课题,必须回答三个问题。”
他竖起一根手指。
“第一,这个课题,是亚微米工艺的瓶颈吗?”
竖起第二根手指。
“第二,两年之内,你能拿出什么?”
竖起第三根手指。
“第三,你做不出来,谁还能做?”
礼堂里安静得能听见日光灯镇流器的嗡嗡声。
刘星海教授放下手,声音沉了下来。
“报上来的课题,指挥部不设限,不砍预算。但有一条:谁报的课题,谁立军令状。两年之后,我们坐在这里,一件一件地验收。做出来的,有功。做不出来的,有说法。”
他目光扫过全场。
“同志们,从今天起,星河计划进入新阶段。以前是‘你们告诉我该干什么’,现在是‘你们告诉我你们要干什么’。有没有问题?”
没有人说话。
“好。下面,把时间留给大家,各组都上来谈谈,我们要做些什么。”
先是理论组。
陈教授走上讲台,手里拿着一个厚厚的文件夹。
“理论组,主要做三件事。第一,昆仑汇编语言的设计,目前已经订了框架。第二,汉字编码设计,目前第一版35oo个汉字已完成编码设计。第三,星河计划各相关微程序、数据库等设计,这是长期工程,随需而定。”
他在黑板上写了几行字。
“昆仑汇编语言,旨在统一助记符、寻址方式、指令格式等,为星河计划的微程序奠定基础,我们将联合全国12家单位,用两年时间,进行此项工作。一旦设计完成,星河计划的任何一台机器,不管是大到昆仑系列计算机,还是小到工业计算机,都用同一套汇编语言。工程师写一套代码,能在所有昆仑机上跑。”
他合上文件夹。
“汇编语言定稿之后,该项工作的重心将转向两件事:第一,编译器的研制;第二,操作系统的移植和优化。这两件事,都需要各单位的配合。”
……
陈教授汇报完,台下有人举手提问,陈教授一一回答。
接着是材料组。
半导体所的王守仁走上讲台,手里拿着一块硅片样本,在灯光下举起来,让台下的人看。
硅片表面光滑得像镜子,在灯光下泛着银灰色的光泽。
“材料组的主要工作,是提高高纯度硅单晶的批量生产能力。目前,2微米工艺用的硅片,纯度稳定在7n以上,直径3英寸,厚度4oo微米,翘曲度小于1o微米。”
他把芯片放在桌上,翻开笔记本。
“下一步的目标,是8n纯度和4英寸直径。这是亚微米工艺的基础材料要求,我们已经启动预研。难点有两个,一是区熔工艺的均匀性,二是切片加工的表面损伤控制。预计明年年底之前,拿出合格样品。”
工艺组,63o5厂的陈光远站起来,手里拿着一沓厚厚的报告。
“目前,2微米工艺已经全线贯通,良率稳定在65%以上。下一步的任务,是向1微米、o。8微米、o。5微米推进。”
他在黑板上画了一张技术路线图。
“我们的计划是三步走。第一步,明年年底之前,攻克1微米工艺。关键设备是新一代光刻机,工作台精度要从o。1微米提升到o。o5微米,长光所已经在做了。第二步,后年年底之前,攻克o。8微米工艺。这一步的关键是光刻胶和掩模版的精度,上海感光厂和中科院感光化学所联合攻关。第三步,大后年年底之前,攻克o。5微米工艺。这一步需要电子束光刻机,我们已经和真空所、哈工大启动了联合预研。”
他在每一条后面都标注了时间节点和责任人,条理清晰,一目了然。
光刻组,长光所的王高工走上讲台,一叠纸夹在腋下。
“光刻机的事,我来说几句。”
他的声音不大,但每个字都很有力。
“2微米光刻机gca-3o1cgs,已经技术稳定量产。1微米光刻机,工作台精度需要o。o5微米,曝光波长365纳米,物镜数值孔径o。4,这些指标都已经在实验室里跑通了。现在卡在批量制造的良率上,预计今年年底之前解决。”
他在黑板上画了一个简图。