笔趣阁

第264章 等一个大惊喜（第9页）

“最好能对海外高端芯片制造产业链造成巨大影响。”

“何况我觉得这天很快就会到来。”沉声讲道这里徐昀又补充了句。

无论刘星还是杨靖都已经被徐昀折服，自然不会对其决定有所异议。

仔细想想确实不如先把光源上的突破隐瞒下来，等到时候直接给外界一个大惊喜。

不过罗长辉却从徐昀话中听出了其他信息，暂时按耐住心中涌现出的莫名激动，连忙开口进行询问。

“徐教授。”

“刚才你说这天很快就会到是什么意思？”

此话一出也顿时引起了其他人的好奇，都集中注意力等着徐昀的下文。

徐昀倒是没有要隐瞒的意思，只不过嘴角先是浮现出一抹意味深长的笑容，眨了眨眼回答道：“就是字面意思啊，我正在研究投影系统和掩膜方面的设计方案，估计用不了多久就会有结果。”

既然光源问题已经被彻底解决，那么接下来自然要着手处理其他两项问题。

毕竟他现在还剩下不少积分呢。

不得不说他的这句话无疑是一石激起千层浪，再次给了在场众人一个深深震撼。

主要听徐昀这话的意思，似乎已经在投影系统和掩膜上有了进展。

如果以前他们或许不会往这方面想，但是现在吗……

就算徐昀说过俩月就能把极紫外光刻机制造出来都不会感到太惊讶。

而震撼之后则是狂喜，想到距离国产高端极紫外光刻机的出现越来越近，如何不让人感到兴奋激动。

“没想到还可以用这种方法来解决氟化氙光源的制造难度问题，我以前竟然没有任何这方面的想法。”

“有了这份方案，我们是不是很快就能制造出稳定的光源。”

“我已经迫不及待想参与实验了。”

而这时没等徐昀开口回答，坐在旁边的罗长辉主动出声讲道：“现在可还不是我们值得庆祝的时候，起码要得到详细的氟化氙测试结果才行，接下来大家先暂时停止手上的事情，全力制造氟化氙光源装置。”能看出他整个人的激情已经被调动出来。

罗长辉所说的事情正是徐昀接下来的安排，因此便顺着补充了句。

“那么今天的会议就到这里，接下来的时间我想大家应该要有的忙了。”

说完会议也正式结束。

今天把项目成员都喊过来参加会议，主要是商议氟化氙光源制造方案的事，眼下方案已经集体通过，那自然没必要继续浪费时间。

何况相信大家经过刚才的事情后，都已经迫不及待想动手了。

毕竟自己能参与到国产台极紫外光刻机诞生可是件充满荣耀的事。

当然实际情况也正是如此。

会议结束后在徐昀的带领下，大家都被安排任务。

立刻着手氟化氙光源的制造。

——

和从零开始制造氟化氙不同，前者需要不断试错承担功率较小或者无法长时间保持稳定输出的结果，这个过程除了需要大量投入外，还非常浪费时间并且最终得不到任何结果都正常。

但徐昀他们完全不同。

有那份设计方案作为依靠，这就相当于开卷考试。

他们进行的过程就是把答案抄在试卷上，基本不需要费太多精力。

加上还有徐昀亲自参与，几乎是在六月底的时候研究所成功制造出一个氟化氙光源装置。

并且为确定是否能用于高端光刻机，当天便对光源的波长功率稳定性等进行了测试。

“虽然我觉得这次我们肯定能成功，但不知怎么心里还是有些紧张。”

2o2o年6月22日，锦城，光电技术研究所极紫外光刻机项目。

光源测试实验室外面，穿着白色研究服的杨靖来回迈着步伐显得有些不安，尽管表面上故作镇定，但脸上隐藏不了的小表情还是把真实感受暴露。

这段时间在参与了光源的制造后，他更加坚信徐昀方案的可行性。

认为极紫外光刻机的光源问题已经解决。

可眼看最终的光源测试结果就要出来，心里多少还是有些忐忑。

相比坐不住的杨靖，罗长辉明显镇定许多，坐在旁边椅子上还不忘打开杯子喝茶。

“把心态放平和，既然选择了相信徐教授，那就耐心等待结果。”

“我这不是害怕嘛。”杨靖听到罗长辉这话有些不好意思。

好歹他也是半截身子入土的研究员教授，遇到事情表现的还不如那些博士后，确实多少有些不太妥当。

不过话是那样说，但试问又有几个能真正做到波澜不惊。

俗话说见过了光明便再难接受黑暗，徐昀的光源方案让他们看到了希望，属于国产极紫外光刻机终于能交付使用的希望。

若最终测试出的结果无法达到要求，那么这些天的努力都将白费。

尽管科学研究本就不应惧怕失败，但对于项目成员肯定是个不小的打击。