伴随着刺目的白光和焦糊味,第三块价值千万的Collector镜在高功率激光的轰击下瞬间熔毁。
“报告!锡滴靶材气化不均,镜面烧蚀深度确认!”
操作员的声音带着痛惜。
李阳面无表情,目光扫过实时数据:
“峰值功率306kW,锡滴轨迹偏移0。05毫秒,冷却系统瞬时流量下降5%。”
曹启东默默调出对比图。
“功率波动超出ASML历史峰值指标287%。”
DPP方案的瓶颈:高功率激光、锡滴精确供给、光学元件防护。
三重枷锁坚如磐石,常规路径似乎已至绝境。
李阳离开光源实验室,径直走向“龙神堆”主控中心。
巨大的屏幕上,代表等离子体湍流的MHD曲线蛇形扭动。
控制台那边,一个不起眼的二级报警标识突然闪烁。
“报告!”
“堆芯边界区捕获到瞬态X射线脉冲,光谱分析中…”
分析员语速飞快,几分钟后,再次响起他的声音。
“确认!”
“峰值波长…13。5纳米波段附近!”
13。5纳米?!
EUV光刻的核心波长!
李阳眼神瞬间一凝,疾步上前,调出原始波形及磁场位形。
“触发区域?磁场配置?”
“内约束层边缘,B场第四象限湍流抑制节点,当时正在施加特殊梯度磁纹波!”
屏幕回放清晰显示:
特定高能粒子轨迹束流与湍流等离子体短暂互动的瞬间,爆发出的强烈X射线脉冲,其主光谱带精准覆盖13。5纳米区域。
同步辐射原理!
高能粒子在强磁场偏转时释放的能量!
一个念头,凭空而起,在李阳脑海中,渐渐完善。。。。。。