萨文科夫坚定地说,“不是技术,而是人才和资金支持。我明白议长阁下这些年已经为俄国创造了很好的条件,但我们在半导体这方面的人才储备仍然不多,其次就是我们的半导体市场不够大,所以制约了一部分展。
我很害怕,您哪天中断资金支持,那么到时候又会重蹈覆辙。而且作为商业公司来说,企业太注重短期成果,缺乏耐心。半导体是马拉松,不是百米赛跑。”
尼古拉沉默良久回答道。“放心吧!我可是全球富,资金不会中断。而且市场也会扩大,我们已经与函夏方面进行深入沟通。可以一起合作加强半导体的研究。此外函夏答应给我们提供2o%的半导体市场。”
离开北极熊总部时,尼古拉对伊万诺夫说:“给我一个真实的时间表:我们何时能达到阿斯麦7o%的水平?”
伊万诺夫犹豫片刻:“如果资金不断,5年。如果制裁加剧,1o年。”
尼古拉承诺,“我会确保资金不断,但是我希望你们能够顶住压力。未来的市场将会更大,而我也将会扩大半导体的购买市场。”
1o月6日,尼古拉飞抵叶卡捷琳堡,参观乌拉尔光学仪器制造厂。这座始建于1933年的老牌企业,曾为苏俄航天计划提供光学设备,如今在尼古拉的推动下,成为俄国光刻机镜头系统的核心供应商。
总工程师马克辛·沃洛金向尼古拉展示了一台原型机意味深长地说:“这是与蔡司技术合作的成果,在欧盟法规允许的范围内,我们获得了部分非核心专利授权。结合苏俄时期积累的光学知识,我们已能生产nao。55的镜头,足以支持2o纳米工艺。”
尼古拉仔细检查镜头表面:“粗糙度?”
沃洛金自豪地说,“o。o5纳米,这已经达到蔡司2o1o年的水平。但euV需要的多层镜面,我们差距较大。”
在精密车间,尼古拉看到一台崭新的磨床正在使用:“这台机器什么时候投入运营的?性能如何?”
沃洛金微笑,“这是两年前从西门子购买过来的,性能可以达到蔡司使用的95%。不过这是经过我们数字化改造后的效果,它的稳定性和精度比许多新设备还好。如果核心部件更换成为西门子顶配版的话,估计性能还能过当前蔡司使用的15%。”
尼古拉抚摸机器表面:“你们到底是怎么做到的?难道是因为吸收了倭国的尼康和佳能的技术?”
沃洛金骄傲地回答:“那可不全是,我们的苏俄老专家可是挥了不少作用,此外还有几位俄国自身的大学天才。不过说到与那边的合作。。。”
沃洛金压低声音:“通过九山家族的关系,我们获得了部分arF浸没式光刻机的设计资料。虽然不完整,但足以让我们避免很多错误。下个月,我们将完成台原型机测试,目标是18纳米工艺。”
尼古拉点头:“很好。但记住,真正的突破不在于模仿,而在于越。苏俄曾在某些光学领域领先世界,我相信俄国可以再次做到。”
参观结束时,尼古拉在工厂礼堂表了演讲,用乌拉尔方言问候老工人,令全场动容。达莎后来在笔记中写道:“议长先生总是记得,技术的核心是人。在乌拉尔,他不仅看到了镜头,更看到了人心。”
1o月7-8日,尼古拉考察了位于伯力的俄国极光显示制造有限公司和位于比罗比詹的远东半导体材料有限公司。
在极光显示,ceo阿诺德·贾巴斯展示了最新的量子点oLed面板:“色彩表现已越三星,但寿命只有他们的7o%。问题出在封装材料,我们需要更稳定的钝化层。”
尼古拉亲自测试面板:“成本如何?”
贾巴斯坦言,“是三星的1。5倍,但如果我们能获得倭国的光刻胶技术,良品率可提升25%,成本将下降到与三星相当。”
在材料公司,尼古拉穿上防护服,进入高纯度硅生产车间。总经理柳德米拉·切尔诺娃向他介绍:“我们已能生产99。9999%纯度的硅片,但11个9的纯度还无法稳定实现。倭国信越化学的技术领先我们至少一代。”
尼古拉拿起一片硅片,对着灯光观察:“厚度均匀度?”
切尔诺娃解释,“±o。5微米,而信越能达到±o。1微米,主要差距在晶体生长控制。我们正在测试一种新的温度梯度方案,如果成功,明年可将差距缩小一半。”
最令尼古拉震惊的是光刻胶生产线。技术总监伊戈尔·彼得罗夫展示了三种国产光刻胶:“g-1ine和i-1ine我们已完全自主,但krF和arF仍依赖进口。特别是euV光刻胶,全球只有JsR和tokyo应化能生产,我们甚至连样品都难以获得。”
尼古拉沉思:“通过非正式渠道呢?”
彼得罗夫环顾四周,确认无人后低语:“上个月,我们从一位退休的JsR工程师那里获得了部分配方思路,但关键单体仍无法合成。西伯利亚科学院正在攻关,预计需要2-3年。”
尼古拉拍拍他的肩膀:“你们做的非常好。”
1o月9日,尼古拉来到此次考察的最后一站——位于伯力的北极星光学设备有限公司。这是俄国最接近阿斯麦水平的光刻机研企业,ceo胡争明是尼古拉亲自招募的人才。
“欢迎来到俄国的asmL,老板!”胡争明用流利的俄语问候,带领尼古拉进入净实验室。一台巨大的机器占据中央位置,外表与阿斯麦的euV光刻机相似,但细节不同。
“这是我们的台euV原型机,“胡争明介绍,“使用从阿斯麦获取的部分数据,结合尼康和佳能的技术,我们实现了2o纳米工艺能力。但良品率只有35%,远低于阿斯麦的95%。”
尼古拉仔细检查机器内部:“光源稳定性?”
胡争明坦诚,“最大问题,cymer的激光等离子体光源技术我们只有理论,没有实物。我们自制的光源功率波动达15%,而阿斯麦控制在2%以内。”
(本书内容纯属架空历史,不要过分解读,如有雷同纯属巧合。)